X/Y-Positionierung ohne Kammerdurchbruch

Der MAFU Probentisch positioniert Ihre Proben im Hochvakuum (HV) und Ultrahochvakuum (UHV) sowie auch im extremen Hochvakuum (XHV) in der XY Ebene, ohne dass Sie Durchführungen in Ihrer Vakuumkammmer benötigen. Die Bewegung erfolgt berührungslos, so dass eine sehr genaue Positionierung möglich ist. Außerdem sind durch das Fehlen von Reibung auch sehr kleine Wege ohne Losbrechkräfte möglich. Mit diesem Probentisch erreicht Ihre Metrologie noch kleinere Dimensionen. Dieses Vakuum-Positioniersystem eignet sich besonders zur EUV-Masken Metrologie.

Geeignet für
• AFM
• SIMS,
• FIB,
• SHIM

Modulares UHV Transportsystem

Ob man eine einzelne UHV-Kammer beladen oder mehrer Prozesskammern verketten will, das modulare M-Drive Transportsystem bietet hierfür die sowohl einfachste, wie auch die technisch beste Lösung an. Der Baukasten verfügt über alle wichtigen Standardmodule um jeden Punkt in der Ebene mit einer bemerkenswerten Genauigkeit zu erreichen. Dies erfordert keine Kabel und komplexe Mechanik innerhalb des UHV-Bereichs.