Substrate in Vakuum bewegen ohne Roboter

Unser M-Drive kann ohne Übertreibung als eine Revolution des Vakuumhandlings bezeichnet werden. Er transportiert Wafer und andere Materialien berührungslos und ohne jede Reibung äußerst flexibel in kleinen und großen Vakuumkammern. Es werden weder Durchführungen noch Lager, Fette oder klassische Antriebselemente verwendet.
Innerhalb der Vakuumkammer entstehen also keine Partikel oder Lecks. Gerade im Vakuum, wo kein Airflow für Reinheit sorgen kann, zeigt dieses System seine besonderen Stärken.
Basis des Systems ist ein Planarmotor, welcher die Läufer im Vakuum durch Magnetismus anhebt und fortbewegt. Im Vergleich zu einem Scara Roboter hat das System eine enorme Flexibilität. Wo ein Roboter nur einen sehr begrenzten Arbeitsbereich besitzt, besticht der M-Drive durch beliebige Fahrwege. Unser M-Drive ist die 2-dimensionale Erweiterung von linearen Systemen zum Vakuumtransfer und setzt somit Maßstäbe in der Vakuumautomatisierung.

Mit unserem Vakuum SCARA Roboter bewegen Sie auch schwere Substrate und ungewöhnliche Formen sicher im Hochvakuum in Ihren Prozess oder Ihre Metrologie Applikation. Dabei ist die Kontamination des Vakuums auf ein Minimum reduziert. Zahlreiche Schnittstellen und ein standardisiertes Interface machen die Integration einfach. Sie können den Roboter sowohl individuell programmieren als auch im Pick- and Place Modus einteachen und betreiben.

Hohe Fertigungskompetenz ist bei MAFU Mechanik gebündelt und steht den Kunden zur Verfügung – so lassen sich schon bei der Planung von Baugruppen spätere Fertigungskosten senken. Wir finden den wirtschaftlichsten Weg, Baugruppen zu montieren und herzustellen. Dabei werden schon in der Planungsphase kostengünstige und effiziente Fertigungsmöglichkeiten mit den Kunden abgestimmt.

Das Tool Wertanalyse wird als Dienstleistung professionell angewand, um durch alternative Prozessschritte, andere Geometrien, bzw. Materialen oder sonstige Verbesserungen die Herstellkosten zu reduzieren.

Bei Heißprozessanwendungen im Vakuum kann eine Kühlstation erforderlich sein. Durch die Einbindung in eine Cluster- oder Inlineanlage können Handhabungszeiten der Substrate signifikant verkürzt werden. Abgestimmt auf ihren Prozess und die bestmögliche Zykluszeit legen wir die Kühltechnik so aus, damit sich höchste Kühlleistung und niedriger Energieverbrauch nicht widersprechen, sondern das beste Verhältnis für Ihre Anwendung darstellen.
Technische Daten