Zur Ausrichtung Ihres Substrates bieten wir Aligner für jede Substratform an. Diese arbeiten sowohl in Atmosphäre als auch im Vakuum. Unsere Aligner sind mit einer präzisen Sensorik zur Erkennung beliebiger Merkmale wie Notch, Flat, Kanten oder Ecken ausgestattet. Zusätzlich ist die Erweiterung mit einer Sensorik zur Erkennung von IDs möglich. Durch die Konfigurierbarkeit können wir nach Kundenanforderung das beste Verhältnis von Genauigkeit zu Geschwindigkeit erreichen.

Es gilt anspruchsvolle Aufgaben im Handling ihrer Substrate zu lösen?
Unser F-Drive eignet sich dafür in der Ausbaustufe als Flip Station hervorragend! Er bietet hohe Positions- sowie Wiederholgenauigkeiten und ist somit perfekt für ihre individuell konfigurierbare Rotationspositionierung geeignet. Nach ihren Vorgaben passen wir die Parameter des Flip-Prozesses an, um einen sicheren Umgang mit Ihren sensiblen Substraten, aber auch die geforderten Durchsatzanforderungen ihres Prozesses zu erreichen.

Es gilt anspruchsvolle Aufgaben im Handling ihrer Substrate zu lösen?
Unser F-Drive eignet sich dafür in der Ausbaustufe als Edge Grip Aligner hervorragend! Er bietet hohe Positions- sowie Wiederholgenauigkeiten und ist somit perfekt für ihre individuell konfigurierbare Rotationspositionierung geeignet. Nach ihren Vorgaben passen wir die Parameter des Alignment-Prozesses an, um einen sicheren Umgang mit Ihren sensiblen Substraten, aber auch die geforderten Durchsatzanforderungen ihres Prozesses zu erreichen.

Optimales Preis-Leistungs-Verhältnis

Bei Drehdurchführungen mit Leckraten < 10-8 mbar l/s kommen hauptsächlich ferrofluidisch gedichtete Systeme zum Einsatz.

MAFU bietet für solche Fälle eine deutlich kostengünstigere Lösung an. Der Bereich zwischen 2 Axialwellendichtringen wird mit vakuumkompatiblen Öl gefüllt. Dadurch wird eine sehr gute Dichtheit bei optimaler Schmierung des Wellendichtrings erreicht.