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Drehdurchführung und Alignment im Vakuum (F-Drive)
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Drehdurchführung und Alignment im Vakuum (F-Drive)
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1


F-Drive Aligner


Zur Ausrichtung Ihres Substrates bieten wir Aligner für jede Substratform an. Diese arbeiten sowohl in Atmosphäre als auch im Vakuum. Unsere Aligner sind mit einer präzisen Sensorik zur Erkennung beliebiger Merkmale wie Notch, Flat, Kanten oder Ecken ausgestattet. Zusätzlich ist die Erweiterung mit einer Sensorik zur Erkennung von IDs möglich. Durch die Konfigurierbarkeit können wir nach Kundenanforderung das beste Verhältnis von Genauigkeit zu Geschwindigkeit erreichen.

Vacuum-Niveau 1x10e-7 mbar
Leckrate 1x10e-9 mbar l/s
Tragkraft 1000 g
Zentriergenauigkeit 0,1 mm
Drehgenauigkeit 0,7 mrad
Geschwindigkeit 200 °/s



 



 



 
 

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F-Drive Aligner




Zur Ausrichtung Ihres Substrates bieten wir Aligner für jede Substratform an. Diese arbeiten sowohl in Atmosphäre als auch im Vakuum. Unsere Aligner sind mit einer präzisen Sensorik zur Erkennung beliebiger Merkmale wie Notch, Flat, Kanten oder Ecken ausgestattet. Zusätzlich ist die Erweiterung mit einer Sensorik zur Erkennung von IDs möglich. Durch die Konfigurierbarkeit können wir nach Kundenanforderung das beste Verhältnis von Genauigkeit zu Geschwindigkeit erreichen.

Vacuum-Niveau 1x10e-7 mbar
Leckrate 1x10e-9 mbar l/s
Tragkraft 1000 g
Zentriergenauigkeit 0,1 mm
Drehgenauigkeit 0,7 mrad
Geschwindigkeit 200 °/s



 



 

 


 




 























 

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F-Drive
Vakuum-Drehdurchführung


Optimales Preis-Leistungs-Verhältnis

Bei Drehdurchführungen mit Leckraten < 10-8 mbar l/s kommen hauptsächlich ferrofluidisch gedichtete Systeme zum Einsatz.

MAFU bietet für solche Fälle eine deutlich kostengünstigere Lösung an. Der Bereich zwischen 2 Axialwellendichtringen wird mit vakuumkompatiblen Öl gefüllt. Dadurch wird eine sehr gute Dichtheit bei optimaler Schmierung des Wellendichtrings erreicht.

Leckrate Stillstand 1x10e-9 mbar l/s
Leckrate bei max. Drehzahl 1x10e-8 mbar l/s
Max. Drehzahl 100 U/min
Max. Drehmoment 25 Nm
Max. Kippmoment 100 Nm
Lebensdauer 10 km



 



 



 
 

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F-Drive
Vakuum-Drehdurchführung




Optimales Preis-Leistungs-Verhältnis

Bei Drehdurchführungen mit Leckraten < 10-8 mbar l/s kommen hauptsächlich ferrofluidisch gedichtete Systeme zum Einsatz.

MAFU bietet für solche Fälle eine deutlich kostengünstigere Lösung an. Der Bereich zwischen 2 Axialwellendichtringen wird mit vakuumkompatiblen Öl gefüllt. Dadurch wird eine sehr gute Dichtheit bei optimaler Schmierung des Wellendichtrings erreicht.

Leckrate Stillstand 1x10e-9 mbar l/s
Leckrate bei max. Drehzahl 1x10e-8 mbar l/s
Max. Drehzahl 100 U/min
Max. Drehmoment 25 Nm
Max. Kippmoment 100 Nm
Lebensdauer 10 km



 



 

 


 






Ich freue mich auf Ihren Kontakt.