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Planarroboter für Vakuumhandling (M-Drive).«
  



 























 

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Vakuumkammer
M-Drive Cluster Tool


Substrate in Vakuum bewegen ohne Roboter

Unser M-Drive kann ohne Übertreibung als eine Revolution des Vakuumhandlings bezeichnet werden. Er transportiert Wafer und andere Materialien berührungslos und ohne jede Reibung äußerst flexibel in kleinen und großen Vakuumkammern. Es werden weder Durchführungen noch Lager, Fette oder klassische Antriebselemente verwendet.
Innerhalb der Vakuumkammer entstehen also keine Partikel oder Lecks. Gerade im Vakuum, wo kein Airflow für Reinheit sorgen kann, zeigt dieses System seine besonderen Stärken.
Basis des Systems ist ein Planarmotor, welcher die Läufer im Vakuum durch Magnetismus anhebt und fortbewegt. Im Vergleich zu einem Scara Roboter hat das System eine enorme Flexibilität. Wo ein Roboter nur einen sehr begrenzten Arbeitsbereich besitzt, besticht der M-Drive durch beliebige Fahrwege. Unser M-Drive ist die 2-dimensionale Erweiterung von linearen Systemen zum Vakuumtransfer und setzt somit Maßstäbe in der Vakuumautomatisierung.

  



 



 
 

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Vakuumkammer
M-Drive Cluster Tool




Substrate in Vakuum bewegen ohne Roboter

Unser M-Drive kann ohne Übertreibung als eine Revolution des Vakuumhandlings bezeichnet werden. Er transportiert Wafer und andere Materialien berührungslos und ohne jede Reibung äußerst flexibel in kleinen und großen Vakuumkammern. Es werden weder Durchführungen noch Lager, Fette oder klassische Antriebselemente verwendet.
Innerhalb der Vakuumkammer entstehen also keine Partikel oder Lecks. Gerade im Vakuum, wo kein Airflow für Reinheit sorgen kann, zeigt dieses System seine besonderen Stärken.
Basis des Systems ist ein Planarmotor, welcher die Läufer im Vakuum durch Magnetismus anhebt und fortbewegt. Im Vergleich zu einem Scara Roboter hat das System eine enorme Flexibilität. Wo ein Roboter nur einen sehr begrenzten Arbeitsbereich besitzt, besticht der M-Drive durch beliebige Fahrwege. Unser M-Drive ist die 2-dimensionale Erweiterung von linearen Systemen zum Vakuumtransfer und setzt somit Maßstäbe in der Vakuumautomatisierung.

  



 

Präzisionsautomatisierung in Aktion

Entdecken Sie unsere jüngste Entwicklung in Zusammenarbeit mit Bosch Rexroth! Im Video sehen Sie, wie unser System eine besonders sanfte und zugleich mikrometergenaue Handhabung ermöglicht – jede Bewegung sitzt präzise. Die skalierbare Kammeranordnung bietet maximale Flexibilität für verschiedenste Produktionsanforderungen, während die frei konfigurierbare Anzahl der Mover optimal auf den gewünschten Durchsatz abgestimmt werden kann.

So verbindet diese Kooperation modernste Technologie mit praktischer Anpassungsfähigkeit – perfekt für die Anforderungen der Fertigung von heute.






Ich freue mich auf Ihren Kontakt.