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Linearachse im Vakuum (E-Drive)
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Linearachse im Vakuum (E-Drive)
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E-Drive vertikal


MAFU Hubwerke mit integrierter Steuerung überwinden Höhendifferenzen von bis zu 200mm oder heben kundenspezifische Kassetten. Die Linearführung ist mittels eines Faltenbalgs abgedichtet und somit für alle Vakuumbereiche geeignet. Auch für größere Gewichte sind unsere Hubwerke geeignet. Außerdem können sie in jeder Lage betrieben werden.

Vakuum Niveau 1x10e-7 mbar
Leck Rate 1x10e-9 mbar l/s
Tragkraft 10 kg
Mapping optional
Betriebstemperatur 10-80 °C
Geschwindigkeit Z: 50 mm/s



 



 



 
 

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E-Drive vertikal




MAFU Hubwerke mit integrierter Steuerung überwinden Höhendifferenzen von bis zu 200mm oder heben kundenspezifische Kassetten. Die Linearführung ist mittels eines Faltenbalgs abgedichtet und somit für alle Vakuumbereiche geeignet. Auch für größere Gewichte sind unsere Hubwerke geeignet. Außerdem können sie in jeder Lage betrieben werden.

Vakuum Niveau 1x10e-7 mbar
Leck Rate 1x10e-9 mbar l/s
Tragkraft 10 kg
Mapping optional
Betriebstemperatur 10-80 °C
Geschwindigkeit Z: 50 mm/s



 



 

 


 




 























 

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E-Drive horizontal


Die Linearachse E-Drive 400 wurde für die Anbindung klassischer Load Locks oder Prozesskammern an unser M-Drive entwickelt. Sie kann auch gut für allgemeine Be- und Entladeaufgaben eingesetzt werden. Sie schließt die Lücke zwischen manuellem Einlegen oder manuellen Manipulatoren und aufwendig automatisierten Mehrachsbewegungen. Durch die Vollmetallausführung und die Ausheizbarkeit Sie ist bei allen Vakuumdrücken bis in den XHV-Bereich einsetzbar.



 



 



 
 

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E-Drive horizontal




Die Linearachse E-Drive 400 wurde für die Anbindung klassischer Load Locks oder Prozesskammern an unser M-Drive entwickelt. Sie kann auch gut für allgemeine Be- und Entladeaufgaben eingesetzt werden. Sie schließt die Lücke zwischen manuellem Einlegen oder manuellen Manipulatoren und aufwendig automatisierten Mehrachsbewegungen. Durch die Vollmetallausführung und die Ausheizbarkeit Sie ist bei allen Vakuumdrücken bis in den XHV-Bereich einsetzbar.

 



 



 























 

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Load lock


Vakuum Load lock für einzelne Substrate und Kassetten ermöglichen flexible Materialeinschleusung. Dabei ist die Höhe des Substrats nur durch die Höhe des Gateventils begrenzt. Die Load locks können mit Sensorik zur Belegungserkennung, Lageüberprüfung und Material ID Erkennung ausgestattet werden.

 



 



 
 

3


Planung




Hohe Fertigungskompetenz ist bei MAFU Mechanik gebündelt und steht den Kunden zur Verfügung – so lassen sich schon bei der Planung von Baugruppen spätere Fertigungskosten senken. Wir finden den wirtschaftlichsten Weg, Baugruppen zu montieren und herzustellen. Dabei werden schon in der Planungsphase kostengünstige und effiziente Fertigungsmöglichkeiten mit den Kunden abgestimmt.

Das Tool Wertanalyse wird als Dienstleistung professionell angewand, um durch alternative Prozessschritte, andere Geometrien, bzw. Materialen oder sonstige Verbesserungen die Herstellkosten zu reduzieren.

 



 



 
 



Technische Daten


 
 
Vakuum Niveau 1x10e-7 mbar
Leckrate 1x10e-8 mbar l/s
Mapping optional
Betriebstemperatur 10-80 °C
Max. Ausheiztemperatur 120 °C
Slideoutsensor optional
Substrat max. 250x250 mm
Vakuumpumpen Turbo, Kryo, oder nur Vorpumpen nach Kundenanforderungen


 




 







Ich freue mich auf Ihren Kontakt.