Es gilt anspruchsvolle Aufgaben im Handling ihrer Substrate zu lösen? Unser E-Drive eignet sich dafür in der Ausbaustufe als Dreh-Hubeinheit hervorragend! Sie bietet hohe Positions- sowie Wiederholgenauigkeiten und ist damit perfekt für ihre individuell konfigurierbare Hub-Rotationsbewegung geeignet. Nach ihren Vorgaben passen wir die Parameter des Hub-Dreh-Prozesses an, um einen sicheren Umgang mit Ihren sensiblen Substraten, aber auch die geforderten Durchsatzanforderungen ihres Prozesses zu erreichen.

MAFU Hubwerke mit integrierter Steuerung überwinden Höhendifferenzen von bis zu 200mm oder heben kundenspezifische Kassetten. Die Linearführung ist mittels eines Faltenbalgs abgedichtet und somit für alle Vakuumbereiche geeignet. Auch für größere Gewichte sind unsere Hubwerke geeignet. Außerdem können sie in jeder Lage betrieben werden.

Die Linearachse E-Drive 400 wurde für die Anbindung klassischer Load Locks oder Prozesskammern an unser M-Drive entwickelt. Sie kann auch gut für allgemeine Be- und Entladeaufgaben eingesetzt werden. Sie schließt die Lücke zwischen manuellem Einlegen oder manuellen Manipulatoren und aufwendig automatisierten Mehrachsbewegungen. Durch die Vollmetallausführung und die Ausheizbarkeit Sie ist bei allen Vakuumdrücken bis in den XHV-Bereich einsetzbar.

Die neue Hub- Dreheinheit
Die E‑Drive Elevator Achse bekommt Zuwachs in Form der neuen Hub‑Dreheinheit. Wenn bewährte Technik auf neue Anforderungen trifft, entsteht manchmal etwas Besonderes. Unsere etablierte E‑Drive Elevator Achse erhält eine neue ergänzende Bauform, die Ihre Automationsprozesse durch gleichzeitige Hub- und Alignmentbewegungen spürbar flexibler, kompakter und leistungsfähiger macht.
Mit ihrer kompakten Bauweise, kann die Einheit in vielen verschiedenen Einbaulagen betrieben werden, und eröffnet so bei passenden Voraussetzungen völlig neue Freiheitsgrade im Maschinenlayout.
Ein weiterer Entwicklungsfortschritt: Die bewährte Kernkomponente der Hubachse wurde technisch überarbeitet

• Modularer Aufbau, ideal für verschiedenste Anwendungsbereiche innerhalb Ihrer Automationsplattformen, z.B.: um Wafer-Kassetten in abgewinkelten Loadlocks zu drehen.
• Optional als Kassettenlift - mit Schnittstellen für Mapping‑ und Slide‑Out‑Sensorik, perfekt für Wafer‑Kassetten, Substratträger oder kundenspezifische Magazine
• EtherCAT‑Schnittstelle für standardisierte Kommunikation in hochdynamischen Prozessketten
• Gutes Preis‑Leistungsverhältnis, trotz High‑End‑Engineering für Reinraum und Vakuum

Diese Kombination macht die neue Hub‑Dreheinheit zu einer Lösung, die nicht nur funktioniert – sondern Vertrauen in Bereichen schafft, wo Ausfallzeiten und Kontamination keine Option sind.